KeysightB1500A 用帶納米探針的KeysightB1500A進(jìn)行失效分析
參考價(jià) | ¥ 65000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 深圳佳捷倫電子儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) KeysightB1500A
- 產(chǎn)地 馬拉西亞
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/10/18 16:15:59
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 302
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 電動(dòng)機(jī)功率 | B1505A/B1506A/B1500AkW |
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外形尺寸 | 20mm | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車(chē)及零部件,電氣 |
重量 | 30kg |
用帶納米探針的KeysightB1500A進(jìn)行失效分析
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深圳佳捷倫電子儀器有限公司
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用帶納米探針的KeysightB1500A進(jìn)行失效分析
目前,能探測(cè)極窄線(xiàn)寬的納米探針技術(shù)取得了許多進(jìn)展,從而能表征集成電路內(nèi)單個(gè)器件的電氣
特性。這篇應(yīng)用指南介紹如何用 B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀進(jìn)行這類(lèi)測(cè)量,我們通過(guò) SRAM 失效
分析說(shuō)明這項(xiàng)技術(shù)。
常規(guī)存儲(chǔ)器失效分析是用邏輯測(cè)試儀探測(cè)有失效的比特位,然后用掃描電子顯微鏡 (SEM) 和透射
電子顯微鏡 (TEM) 進(jìn)行實(shí)際觀(guān)察和判斷造成失效的成因。
但 SEM 和 TEM 都屬破壞性的測(cè)試,您只能在若干可能失效位置中觀(guān)看其中一個(gè)點(diǎn)。這就大大限
制了用戶(hù)定位失效具體成因的能力。此外,對(duì)于非常小的殘留物或異常摻雜密度造成的電性失效,
也難以采用傳統(tǒng)的物理觀(guān)察技術(shù)來(lái)發(fā)現(xiàn),因此需要增加一些其它類(lèi)型的電氣測(cè)試。
常規(guī)器件電氣測(cè)試方案需要把器件放在帶探針測(cè)試點(diǎn)的 TEG (測(cè)試元件組) 中,而這一 TEG 則通
常放在晶圓片上芯片間的切割道中。顯然,這種方法不能在實(shí)際芯片內(nèi)的失效位置上進(jìn)行電氣表征。
......
總結(jié)
傳統(tǒng)分析方法對(duì)許多失效機(jī)制(如摻雜異常) 是難以探測(cè)的。但通過(guò) Keysight B1500A 與
納米探針的結(jié)合,就有能力探測(cè)集成電路中的單個(gè)晶體管,并且像在常規(guī) TEG 上測(cè)量器
件那樣容易。B1500A 的 EasyEXPERT 軟件可隨時(shí)變更 SMU 引腳設(shè)置,與 EasyEXPERT
強(qiáng)大的應(yīng)用測(cè)試序列能力一起,即可快速和高效地在正反兩個(gè)方向上對(duì)被懷疑的晶體管
進(jìn)行自動(dòng)評(píng)估。在使用納米探針時(shí),用極快速度執(zhí)行這一電氣測(cè)試是非常重要的,因?yàn)殡?br />氣接觸只能保持一個(gè)很短的時(shí)間,您必須要在這一時(shí)間內(nèi)完成測(cè)量。本應(yīng)用指南以調(diào)試
SRAM 單元為例概述了這一過(guò)程。
我們的優(yōu)勢(shì):
品種齊全,貨源充足,存庫(kù)雄厚,服務(wù)快捷,維修能力強(qiáng)。
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我公司對(duì)銷(xiāo)售的儀器儀表均負(fù)責(zé)保修一年.
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