HWGK0133X-18 HWGK0133X-18半導體設(shè)備光刻機
參考價 | ¥ 18800 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 保定市中和機械設(shè)備制造有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HWGK0133X-18
- 產(chǎn)地 河北保定
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/2/10 10:20:43
- 訪問次數(shù) 408
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應用領(lǐng)域 | 能源 |
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實驗室光刻機 光柵光刻機 集成電路光刻機 光刻設(shè)備 光刻機器HWGK0133X-18紫外線光刻箱,配備電子電源,無級調(diào)光,主要用于光刻膠測試,中小規(guī)模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產(chǎn)測試。無紫外線泄露,可以保護人體不受紫外線傷害的UV光刻箱,自動旋轉(zhuǎn)托盤,多角度平行光照射,無照射盲區(qū)。
設(shè)備組成
UV光源+光刻箱+自動轉(zhuǎn)盤+電源控制器
采用模塊型設(shè)計
采用模塊型設(shè)計,可手持、固定、箱式使用。
UV燈頭
包含一個長壽命的高壓汞燈,發(fā)射出UVA(300-400nm),主光強度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。
UV光刻箱
設(shè)備包含光刻箱,帶有箱門,開關(guān)方便,在元件的光刻過程中,能夠保護用戶免受紫外輻射。
內(nèi)置遮光型手動快門(工作時無紫外線泄露)
設(shè)備集成可伸縮遮光型手動快門,確保光刻的優(yōu)良重復性,保護用戶開關(guān)光刻箱門時免受紫外輻射。
可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤
設(shè)備集成可調(diào)速自動旋轉(zhuǎn)托盤,光刻效果更好,更*。
無級變光(光強可調(diào))
燈管發(fā)光強度可以40%~100%,無級調(diào)節(jié)燈光強度,特別適合科研和工業(yè)生產(chǎn)。
反光內(nèi)壁
光刻箱內(nèi)有反光的內(nèi)壁結(jié)構(gòu)以及優(yōu)化設(shè)計的反光鏡,可保證達到均勻照射效果。
強制風冷系統(tǒng)
光源、電源、光刻箱都集成冷卻風扇,使得系統(tǒng)在散熱良好的環(huán)境工作,增加了系統(tǒng)可靠性。
類別 | 項 目 | 參 數(shù) |
尺寸 | 外型尺寸(L×W×H) | 615×415×615mm |
光刻箱內(nèi)(L×W×H) | 330×345×330mm | |
燈管 | 燈管名稱 | 高壓汞燈 |
功率 | 450~1700W 無級調(diào)光 | |
極限功率密度 | <250mw/cm2 | |
波峰值 | 365nm | |
曝光面積: | ≥φ150mm | |
旋轉(zhuǎn)托盤 | 功率 | 10W |
速度 | 1圈/分鐘 | |
速度 | 6圈/分鐘 | |
箱內(nèi)托盤 | 360度旋轉(zhuǎn),速度可調(diào) | |
電源 | 電源需求 | 220V |
整機功率 | 1800W | |
重量 | 光刻箱體 | 29KG |
電源箱 | 4KG | |
燈箱 | 5KG | |
總重量 | 38KG |