充氮充氦氟油檢漏平臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海弘燊真空科技發(fā)展有限公司-J
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2019/2/25 23:44:45
- 訪問次數 1145
產品標簽
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| 產地類別 | 國產 |
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商品描述：
充氮充氦氟油檢漏平臺是對半導體器件進行密封性、可靠性粗檢漏的設備。這是密封電子器件背壓法氦質譜檢漏的配套設備，由兩部分組成。*部分是被檢密封器件壓氮。第二部分是對被檢密封器件壓氟油。
這套設備有手動和PLC自動控制兩種類型；有液面高度自動控制和過程狀態(tài)顯示‘壓氦和壓氟油分開，各自獨立進行，靈活且互不干擾；關鍵零部件，如閥門、管道、法蘭、壓力罐和儲油罐等，均用不銹鋼制造。濾油罐可濾除5μm的固體顆粒，確保氟油清潔。
充氮充氦氟油檢漏平臺與氦質譜檢漏儀配合，能夠完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97標準中規(guī)定的對點子和半導體器件的檢漏。
主要技術指標：
1. 壓力表： 數字式
2. 真空度： ≤50Pa
3. 充氦壓力： 0.2～1.0Mpa，可調
4. 指示液溫度（FC43）溫度：（125±5）℃
5. 保壓時間 ：1～10h，可調
采購中心
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