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FR-portable 便攜式光學(xué)膜厚儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) FR-portable
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/7/1 18:31:02
  • 訪問(wèn)次數(shù) 6072

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營(yíng)銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,汽車及零部件

 

便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過(guò)內(nèi)嵌式微處理器控制,使用壽命超過(guò)20000小時(shí)。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素, 16位級(jí) A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測(cè)量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射探針臺(tái)和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等;

手動(dòng)調(diào)節(jié)可測(cè)量高度可達(dá)50mm

可針對(duì)更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε) 反射率測(cè)量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

F) 附件

FR-portable透射率測(cè)量套件;

Thickness measurement range

12nm – 90μm

Refractive Index calculation

P

Thickness measurement Accuracy

0.2% or 1nm

Thickness measurement Precision

0.04nm or 1‰ (0.01nm)

Thickness measurement stability

0.02nm

Sample size

1mm to 200mm and up

Spectral Range

400nm – 1100nm

Working distance

3mm-20mm

Spot size

0.35mm (diameter of the reflectance area)

Light Source Lifetime

20000h

Wavelength resolution

0.8nm

Number of Layers Measured

Max. 5 layers

Measurement time (max acquisition speed)

10ms/point

A/D converter

16 bit

Power

USB – supplied

Dimensions

300mm x 110mm x 40mm



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