MMS1單體超小型陣列光譜儀，超小單體外觀67x60x40mm，特殊材料TITIAN結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定的機(jī)械特性，防微震、光線靈敏度高及雜散光影響微。內(nèi)部包含外露光纖線附切面轉(zhuǎn)換器、光學(xué)鏡片及光棚，帶濱松陣列感測器256像元。高性能：信噪比、暗電流、溫飄、重復(fù)性都比CCD好。積分時(shí)間4ms-6.4s，可多個(gè)串聯(lián)運(yùn)作。這有利于過程控制及工業(yè)應(yīng)用。

MMS1單體超小型陣列光譜儀系列標(biāo)淮設(shè)計(jì)：

體積特細(xì)，重復(fù)性高是這系列產(chǎn)品的特點(diǎn)。*，高分辨率及高重復(fù)性在一般小型光譜儀難于兩存。蔡司選擇后者，在可接受的分辨率下，有*的波長重復(fù)性，這意味測量出來的數(shù)據(jù)可靠性高。要實(shí)現(xiàn)這結(jié)果，蔡司選擇以下組合：

波長分類

UV Range

UV-VIS Range

VIS-NIR Range

型號

MMS UV

MMS UV-VIS I 

MMS UV-VIS II 

MMS 1 UV/VIS enh.  

MMS 1 NIR enh. 

采購編號

224002-9020.000

224000-9001.000

000000-1090.197

224001-9001.000

000000-1233.038

波長范圍

195-390nm

190-720nm

250-780nm

310-1100nm

310-1100nm

MMS的光學(xué)部件

l 成像光柵

l 切面轉(zhuǎn)換器連光纖線作光譜輸入

l 二極管陣列作光電輸出

單體超小型陣列光譜儀意指一個(gè)整體產(chǎn)品，沒有可分離的部件。一個(gè)合金結(jié)構(gòu)外殼，內(nèi)藏包含外露光纖線附切面轉(zhuǎn)換器、光學(xué)鏡片、光柵等，*固定。再經(jīng)嚴(yán)格檢定及挑選才出售。

設(shè)計(jì)特征：

單體外殼(Body)：

要*維持輸入光譜射線在主體內(nèi)能準(zhǔn)確無誤，我們選用如鏡片的玻璃配件，成像光柵成功被復(fù)制在這玻璃配件上，這樣就令光柵能*固定，而且防塵、防氣體。一體的主體結(jié)構(gòu)把光柵、感應(yīng)器等牢固在一起，*可移動，這樣可確保儀器的穩(wěn)定性。主殼體選用鈦合金為制作材料，鈦合金擁有熱膨脹系數(shù)小、耐腐蝕、硬度高等特點(diǎn)、良好的機(jī)械特性，令儀器擁有極小的波長溫飄，即溫度變化對儀器性能影響減至*小。

光柵(Grating)：

蔡司是少數(shù)使用自己生產(chǎn)及設(shè)計(jì)光柵的商家之一。MMS使用全息閃耀平場光柵，蔡司以非平穩(wěn)波動過程stationary wave process生產(chǎn)光柵，在非偏振光下這光柵的效能比一般正弦曲線sinusoidal profile的高。為配合光纖的色散特性，這光柵需把窄縫進(jìn)入的光譜準(zhǔn)確成像于二極管陣列感應(yīng)器。

光纖切面轉(zhuǎn)換器(Cross-section converter) ：

光譜由光纖切面轉(zhuǎn)換器的光纖口進(jìn)入，經(jīng)光纖切面轉(zhuǎn)換器優(yōu)化後，然后投射在由光纖束以直線規(guī)格排列的窄縫，窄縫的光纖束的數(shù)相等如這陣列的像素?cái)?shù)。感謝*的光柵的設(shè)計(jì)發(fā)制造。這專業(yè)設(shè)計(jì)，令光譜的讀入非常*，不會因光纖的移動或位置變動而改變上次的數(shù)據(jù)，令光譜儀的更穩(wěn)定。

陣列檢測器(Detector)

MMS系列應(yīng)用日本濱松的硅二極管陣列，256象元，NMOS，除在弱光下進(jìn)行，其他應(yīng)用點(diǎn)MMS系列光譜儀的NMOS光學(xué)傳感器更能滿足要求，在信噪比、暗電流、溫飄、重復(fù)性等方面都要遠(yuǎn)遠(yuǎn)的好于CCD。

這樣的設(shè)計(jì)令光譜儀有以下優(yōu)點(diǎn)：

l 防震、*可拆及被移動 

l 魯棒性強(qiáng)，數(shù)據(jù)可移動 

l 溫飄?。簝x器或面的度化對測量影響小，< 0.006nm/K

l 體積小，易安裝及放置

l 光線靈敏度高，≈ 103 Vs / J

l 分辨率：ΔFWHM ≈ 7 nm

性能優(yōu)點(diǎn)

l 光電二極管陣列PDA的暗電流受工作溫度的影響就要小很多，

l 雜散光：< 0.3%

l 波長精度高0.5nm

l 掃描速度*快50us