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HP-150 瑞士 sawatec HP-150 熱版機(jī)

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藍(lán)星宇科技專業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)等儀器設(shè)備。引進(jìn)日本,德國,韓國*技術(shù),設(shè)備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業(yè)等客戶*認(rèn)可。

  同時(shí)我們專注進(jìn)口科學(xué)儀器設(shè)備及材料,主要代理有國 Heidelberg 海德堡光刻機(jī),美國 OAI 光刻機(jī),德國 Raith 電子束光刻機(jī),英國 Durtham 無掩膜光刻機(jī),美國 Trion 刻蝕機(jī).沉積機(jī),德國 Sentech 刻蝕機(jī).沉積機(jī),德國 Optosol 吸收率發(fā)射率檢測儀,日本 SEN  UV清洗機(jī).UV清洗燈,美國Jelight UV清洗機(jī),美國 Nano-master 晶圓清洗機(jī),美國 Arradiance 原子層沉積機(jī),德國 WL 微波離子沉積機(jī)德國 Iplas 微波離子沉積機(jī),美國量子科學(xué) Quantum 綜合物性測量系統(tǒng),德國 Diener 等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)儀器及材料。

光刻機(jī),鍍膜沉積機(jī),刻蝕機(jī),UV清洗機(jī),實(shí)驗(yàn)檢測儀器,UV燈

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

瑞士 sawatec HP-150 熱版機(jī)
 

詳細(xì)介紹

電爐 HP - 150

精密軟硬烘烤

該熱板HP-150是為典型的軟烘焙和硬烘焙工藝的巖性,在MEMS和類似的應(yīng)用。默認(rèn)情況下,溫度范圍設(shè)計(jì)為250℃以下。設(shè)定的溫度和溫度分布具有較窄的邊界,這意味著可以達(dá)到較高的涂層質(zhì)量。HP系列產(chǎn)品具有較高的均勻性和高精度的工藝重復(fù)性,令人信服。可用于直徑150mm以下,大厚度5mm的襯底。

熱板易于平整,防止光刻膠通過真空手動固定基板的放電手動加載和卸載基板。


性能數(shù)據(jù)

溫度范圍:環(huán)境溫度250℃以下溫度精度:100℃時(shí)+/- 1℃

額外的功能(選項(xiàng))

氮?dú)馐謩記_洗,不氧化

簡單的設(shè)置工具,為優(yōu)化對齊的熱板

功能(基本配置)

溫度控制采用數(shù)字目標(biāo)值和實(shí)際值顯示,溫度自動限位開關(guān),無過熱現(xiàn)象

熱板采用安全玻璃,清洗方便



需要媒體

230 VAC 50/60Hz 10A (350W)

技術(shù)真空,管Ø6/4mm(-0.8條)BT排氣排氣扇

瑞士質(zhì)量



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