化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測(cè)厚儀>白光干涉測(cè)厚儀>F50 Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x自動(dòng)化MAPPING
F50 Filmetrics 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x自動(dòng)化MAPPING
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號(hào) F50
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/24 14:25:46
- 訪問次數(shù) 5700
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主動(dòng)式減震臺(tái),Profilm3D光學(xué)輪廓儀,Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x,薄膜厚度測(cè)量?jī)x,粗糙度測(cè)量,輪廓測(cè)量，橢偏儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 波長(zhǎng)范圍 | 190nm-1340nm |
| 光源 | 鎢鹵素?zé)?、氘?/td> | 厚度測(cè)量范圍 | 5nm-2mm |
| 測(cè)量精度 | 0.02nm | 光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米 |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 1-300mm |
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹：
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x依靠光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，以求能夠做成千上萬次測(cè)量。
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；
可測(cè)樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量；
測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x常見工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識(shí)別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品參數(shù)：
波長(zhǎng)范圍： | 190nm-1340nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)?、氘?/span> |
厚度測(cè)量范圍： | 5nm-2mm | 測(cè)量精度： | 0.02nm |
光斑大?。?/span> | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米 | 樣品臺(tái)尺寸： | 1-300mm |
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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量圖：
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