HF450/600 熱絲CVD金剛石膜沉積設備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京泰科諾科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HF450/600
- 產(chǎn)地 北京昌平
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2019/8/8 9:50:30
- 訪問次數(shù) 333
產(chǎn)品標簽
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應用領域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬 |
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1、產(chǎn)品優(yōu)點及特點:熱絲CVD金剛石膜沉積設備采用熱絲化學氣相沉積技術,已應用于國內(nèi)多家用熱絲法生產(chǎn)金剛石的生產(chǎn)線上。該設備已生產(chǎn)出大尺寸片狀多晶金剛石厚膜,并獲得了非??捎^的經(jīng)濟效益。該系列設備適合于工業(yè)化生產(chǎn)也非常適合于科研、教學和產(chǎn)品中試之用。
2、主要用途:熱絲CVD金剛石膜沉積設備用于生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削*、鉆頭、絲錐等表面沉積金剛石薄膜。
3、技術參數(shù):
型號 | HF450/HF600 |
真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷 |
真空腔室尺寸 | Φ450×H500mm/Φ600×H500mm |
基片臺尺寸 | Φ100mm/Φ200mm |
襯底溫度 | 600~1100℃ |
電源 | DC |
控制方式 | PC+PLC+觸摸屏控制 |
占地面積 | L1200×W1060×H1900mm/L1620×W1060×H1900mm |
總功率 | ≥20KW≥43KW |