全自動圖形識別

Park NX-HDM 原子力顯微鏡?借助強大的高分辨率數(shù)字CCD鏡頭和圖形識別軟件，Park NX-HDM讓全自動圖形識別和對準成為可能。

自動測量控制

Park NX-HDM 原子力顯微鏡?自動化軟件讓NX-HDM的操作不費吹灰之力。測量程序針對懸臂調諧、掃描速率、增益和點參數(shù)進行優(yōu)化，為您提供多位置分析。

自動化軟件會按照測量文件中預設的程序進行樣品測量。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時間，而修改現(xiàn)有的測量文件則需要不到5分鐘的時間。

Park NX-HDM具有： 

·自動、半自動和手動模式 

·各自動程序的可編輯測量方法 

·測量過程實時監(jiān)測 

·自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)

二維柔性導引掃描器，超大的100 μm x 100 μm掃描范圍

XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強度壓電疊堆，可在保持平面外運動少的情況下，實現(xiàn)高正交運動以及納米級樣品掃描下的高響應度。

 閉環(huán)式XY軸掃描器帶雙軸伺服系統(tǒng)

XY軸掃描器的各軸上配有兩個對稱的低噪聲位置感應器，得以在大的掃描范圍和樣品尺寸下保持高正交掃描。雙感應器能夠修正和補償單感應器引起的非線性和非平面位置誤差。

高速Z軸掃描器，掃描范圍達15 μm

借助高強度壓電疊堆和柔性結構，標準Z軸掃描器的共振頻率高達9 kHz以上（一般為10.5 kHz）且探針的Z軸移動速率不低于48 mm/秒，讓信息反饋更為準確。大Z軸掃描范圍可從標準的15 μm擴展至40μm（可選購的遠距離Z軸掃描器）。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

行業(yè)的低噪聲Z軸探測器替代Z電壓，作為樣貌信號。此外，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。