1L-50L 電力標(biāo)準(zhǔn)氣體
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海偉創(chuàng)標(biāo)準(zhǔn)氣體分析技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) 1L-50L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2019/9/26 8:49:25
- 訪問次數(shù) 2279
產(chǎn)品標(biāo)簽
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供貨周期 | 一周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油 |
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電力標(biāo)準(zhǔn)氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路(L.S.I)超大規(guī)模集成電路(V.L.S.I)和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,主要用于氣相外延(生成)、化學(xué)氣相淀積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、各類蝕刻和離子注入等工藝中。
硅烷混合氣體 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根據(jù)用戶要求提供 |
磷烷混合氣體 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
peng烷混合氣體 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 | |
砷烷混合氣體 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
硒化氫混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 | |
乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 | |
鍺烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
包裝:1-40(升)瓶裝,標(biāo)準(zhǔn)充裝壓力:9.5 MPa,組分和濃度范圍可根據(jù)要求配制。
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