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Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長-快速退火爐
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Activator150
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 13:21:28
- 訪問次數(shù) 734
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池 |
|---|
Centrotherm 小批暈生產(chǎn)用垂直爐管CLV200,科研專屬
CLV200 小批暈生產(chǎn)用垂直爐管
I 適用于砫襯底的半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)
是一個獨立的小批量晶圓 生產(chǎn)設(shè)備，能實現(xiàn)各項熱處理工藝，適用于少量生產(chǎn)及 研發(fā)。
工藝反應(yīng) 腔體及加熱系統(tǒng)有著*的設(shè)計， 升溫至 11 00 攝氏度。由于一爐尺寸較小（一批至多 50 片晶圓）， CLV 200 爐管能提供 非常靈活的常壓及低壓工藝，降低顧客研發(fā)費用。
的設(shè)計在高效， 低耗上非常出色， 同時也具備了生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件的工藝靈活性。
E1200臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)
- 產(chǎn)品簡介
E1200型臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)是由德國centrotherm公司研制的特為研發(fā)、小批量生產(chǎn)用熱反應(yīng)系統(tǒng)。具有小體積、高工藝性能等特點
可用作常壓CVD、LPCVD、PECVD、擴散、氧化、退火等工藝過程，以優(yōu)良的品質(zhì)、極小的體積、低成本的特點，特別適合低產(chǎn)量、多工藝適應(yīng)性加工要求的研發(fā)或小批量生產(chǎn)。
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