RBZK-XY系列 雙軸中空精密運動臺
- 公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 AUSPRECISION
- 型號 RBZK-XY系列
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/12 14:56:35
- 訪問次數(shù) 1278
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精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天 |
設(shè)計特點
RBZK系列雙軸中空精密運動臺，疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu)，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面，專業(yè)的裝配工藝，獲得直線度±1.25μm，平面度±1.5μm。
雙驅(qū)結(jié)構(gòu)
每軸用雙直線電機驅(qū)動，龍門交叉解耦控制算法，提供雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位，直線電機的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)的運動臺，性能有了提升。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響，提升整體精度性能。可選電子分辨率≤1nm或≤5nm。
線纜管理
使用高質(zhì)量無塵拖鏈，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔凈室內(nèi)。
規(guī)格指標(biāo)
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，MAX速度和加速度取決于負載大小。
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