SRA-FA硬盤(pán)表面反射率分析儀和控制器

 SRA-FA硬盤(pán)表面反射率分析儀和控制器

這款HDI儀器IPS-6000 / SRA-FA硬盤(pán)表面反射率分析儀和控制器已使用并且處于良好狀態(tài)。

該單元分為兩部分，控制器-處理器單元和硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器盤(pán)表面分析儀。包括操作該儀器所需的所有必要電纜。運(yùn)行所需的軟件已加載到系統(tǒng)硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器上。根據(jù)要求，Artisan Technology Group可以提供硬盤(pán)的Ghost映像，用于系統(tǒng)軟件的備份和還原。

Artisan Technology Group的一名技術(shù)人員和工程師對(duì)該系統(tǒng)進(jìn)行了測(cè)試，并成功地對(duì)我們實(shí)驗(yàn)室刮擦和劃痕的備用硬盤(pán)進(jìn)行了多種類型的掃描。這些測(cè)試的結(jié)果以及它們與系統(tǒng)軟件的交互已得到了很好的記錄。本文檔由我們的技術(shù)人員下載創(chuàng)建：

ATG技術(shù)人員制作的HDI SRA FA測(cè)試結(jié)果和功能文檔（pdf）

該系統(tǒng)易于運(yùn)行，并且有程序幫助文件可提供幫助?？捎玫臏y(cè)試從廣泛（緩慢）到更快的快速檢查。該儀器已從活躍的生產(chǎn)環(huán)境中退役。

處理器控制器單元：
型號(hào)：IPS-6000 
部件號(hào)：1000-0051 
輸入電壓：240 V 
操作系統(tǒng)：Windows 2000 Professional 

硬盤(pán)分析儀：
型號(hào)：SRA-FA

特征

• 廣泛的用戶定義的通過(guò)/失敗參數(shù)測(cè)試
• 全光學(xué)-非接觸式測(cè)試
• 檢查硬盤(pán)盤(pán)的完整性
• 用戶特定范圍設(shè)置
• 自動(dòng)劃線測(cè)試
• 專為高通量生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)
• 0.1微米x 0.003度精度
• 軸承主軸

描述

HDI儀器IPS-6000與SRA-FA結(jié)合使用，可在幾秒鐘內(nèi)完成完整的硬盤(pán)表面分析。分析過(guò)程可以在整個(gè)基板的用戶設(shè)置參數(shù)范圍內(nèi)檢測(cè)碳磨損，滾落，晶圓缺陷，波紋度等。為了檢查測(cè)量過(guò)程中的準(zhǔn)確性，SRA-FA可以在磁盤(pán)盤(pán)上劃線，用戶可以手動(dòng)校準(zhǔn)劃線的標(biāo)記。SRA可以處理幾乎所有類型的基板材料，并且非常適合：對(duì)基板清潔過(guò)程中殘留的殘留物，污漬，凹坑，凸起，污點(diǎn)和其他類型的缺陷進(jìn)行檢測(cè)，分類和標(biāo)測(cè)?？梢暬@示大多數(shù)類型的涂料和沉積過(guò)程的表面變化，同時(shí)獲取S，P，相位和散射光。

這種HDI系統(tǒng)能夠在幾秒鐘內(nèi)光學(xué)掃描基板的整個(gè)表面，從而提供各種表面特性的測(cè)量數(shù)據(jù)和可視圖像。SRA可以處理幾乎所有類型的基材，并且非常適合：檢測(cè)，分類和標(biāo)測(cè)殘留物，污漬，凹坑，凸點(diǎn)，污染和基材清潔過(guò)程中留下的其他類型的缺陷。檢測(cè)，分類和標(biāo)測(cè)殘留物，劃痕基材拋光過(guò)程中留下的顆粒和顆粒；測(cè)量沉積涂層的厚度和其他特性，并直觀顯示涂層均勻性變化，

SRA-FA：

•在不到10秒的時(shí)間內(nèi)完成多通道，全表面掃描
•的溫度穩(wěn)定的激光技術(shù)
•亞面對(duì)涂層和潤(rùn)滑劑變化的靈敏度
•0.1微米x 0.003度的精度
•3.2微米的分辨率
•軸承主軸帶有集成式真空夾具，可快速加載磁盤(pán)的
裝載/卸載•宏編程
•具有自動(dòng)分析功能的按鈕操作
•自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)
•帶有v的廣泛的16位圖像顯示和分析包
•XY數(shù)據(jù)顯示（環(huán)形格式）和R-theta數(shù)據(jù)顯示（平面格式）
•1d和2d直方圖以及數(shù)據(jù)的傅立葉分析
•圖像數(shù)學(xué)，濾波和展平
•折線圖，軌跡和角度平均數(shù)據(jù)，以％反射率或埃表示
•文本和位圖輸出選項(xiàng)

用戶可選擇的制造過(guò)程控制限制：

•涂層厚度和光學(xué)性能
•基材亮度和光學(xué)性能
•傅立葉和統(tǒng)計(jì)均勻性分析
•缺陷，污點(diǎn)和處理?yè)p傷檢測(cè)

注：楊清辰發(fā)布