LL1系列美國ALICAT

LL1系列質(zhì)量流量計(jì)-數(shù)字式

Alicat的LL1系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可快速精確地測量

過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。

Alicat的LL1系列質(zhì)量流量計(jì)采用內(nèi)部補(bǔ)償型層

流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動

充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的

差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流

量計(jì)均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

 質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料? 
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于*等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機(jī)溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。

性能參數(shù)

性能/參數(shù)

LL1系列質(zhì)量流量計(jì)

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置90條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點(diǎn)/滿量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

0.5-*

響應(yīng)時間

10毫秒(可調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25ºC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-*RH(非冷凝)

大工作壓力

10Bar

大工作壓差

5bar

安裝方向

任意

材質(zhì)

SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

100mA以內(nèi)

電器連接

備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口可定制

壓損、管路接口

使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進(jìn)水/油、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。

五：工作壓差大5bar。