晶圓表面用納米級別二氧化硅微粒子標(biāo)液
- 公司名稱 上海瑞貝貿(mào)易有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2020/9/7 11:02:47
- 訪問次數(shù) 2444
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油污染度檢測儀,塵埃顆粒計數(shù)器,高效過濾器檢測儀,PAO / DOP發(fā)生和檢測儀,不溶性微粒檢測儀,標(biāo)準(zhǔn)顆粒,DUKE粒子,水份儀,閃點儀
供貨周期 | 一個月 | 規(guī)格 | 15ml |
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貨號 | 可溯源粒子 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池 |
主要用途 | 儀器校準(zhǔn)試劑 |
晶圓表面用納米級別二氧化硅微粒子標(biāo)液
供應(yīng)商:上海瑞貝貿(mào)易有限公司
產(chǎn)品名稱:
SiO2微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液
納米級別二氧化硅
SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子
晶圓表面用二氧化硅
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液,微粒子尺寸從18nm到200nm都選擇,是市面上理想、質(zhì)量較高的校正標(biāo)準(zhǔn),適用于新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。
*進(jìn)的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正,但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷,當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上,將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)的質(zhì)量,因此SiO2微粒子是較好的替代產(chǎn)品。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有 的SiO2合成技術(shù),以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布,從目前小的微粒子尺寸來看,NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸均勻,適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品,加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證,讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴,讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限,而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產(chǎn)品優(yōu)勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)的質(zhì)量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chǎn)品效益
•易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
•避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
•提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給先*進(jìn)的檢測設(shè)備使用
•省錢而且耗用量少