SLM代表的含義是，標準升每分鐘，標準狀態(tài)是0℃ 一個標準大氣壓

SCCM是標準毫升每分鐘，
現(xiàn)在這種單位，用作，微小氣體流量計，以及控制器的流量單位，廣泛應用于真空半導體行業(yè)

氣體質(zhì)bai量流量計為氣體質(zhì)量流量的檢測提供了可靠du的解決方案，低流量敏感、快速zhi響應及dao量程比寬使得這款儀表成為許多重要氣體應用領域的選產(chǎn)品、Steel-Trak傳感器自動溫度補償溫度和壓力，使質(zhì)量流量輸出更加穩(wěn)定可靠。它在氣體測量方面的優(yōu)勢特別明顯，尤其在壓力小、氣體成分復雜的情況下。它同其他流量計相比有著壓力和溫度損失小、量程比寬、小量程段靈敏等優(yōu)點。

目前上氣體流量測量比較可靠和測量準確度較高的流量計是采用質(zhì)量流量計，其中較為成熟的是 BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計和熱式氣體質(zhì)量流量計。科式質(zhì)量流量計有應用的障礙和難點。

 工況流bai量和標況流量通常是在計量氣體的時候會出du現(xiàn)，通俗的來講，標況流量是zhi在流量計有溫度壓dao力補償?shù)那闆r下同時又有具體壓力數(shù)的情況下計算出來。一般標況流量單位為Nm³/h，工況流量計計量單位為m³/h

 美國 BROOKS布魯克斯質(zhì)量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產(chǎn)品。