概述

氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時(shí)延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

氣態(tài)分子污染物CF4泄漏分析儀測量參數(shù)：

l響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等

l 監(jiān)測下限：小于0.1ppb

l動(dòng)態(tài)量程：大于5個(gè)數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)

l重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%

l準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度高于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度

l溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

l 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

優(yōu)勢

l 準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

l 快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

l 獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

l 無耗材或者化學(xué)試劑

l 短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)水平的動(dòng)態(tài)量程

l 直接吸收測量，無漂移

l 校準(zhǔn)間隔長（可達(dá)數(shù)年）

l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾