1、SPS旋涂?jī)x結(jié)構(gòu)：
* NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結(jié)構(gòu)）為整個(gè)系統(tǒng)提供更好的剛性和韌性
*高品質(zhì)無縫制造表面，全工程塑料
*適用于通風(fēng)柜和雜物箱
*大處理室直徑：202毫米

2、數(shù)字電機(jī)控制：
*具有數(shù)字增量速度信號(hào)的數(shù)字實(shí)時(shí)閉環(huán)控制伺服電機(jī)反饋
*提供高精度的轉(zhuǎn)速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉(zhuǎn)速（1至12,000 rpm），這是傳統(tǒng)PID電機(jī)控制器無法實(shí)現(xiàn)的

3、透明蓋：
淬火的透明玻璃瓶蓋，帶有注射器支架和N2擴(kuò)散器，可在處理過程中進(jìn)行N2吹掃
*注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學(xué)物質(zhì)
*控制室環(huán)境對(duì)于恒定的過程結(jié)果至關(guān)重要
*堅(jiān)固的自彈式蓋鉸鏈，可自動(dòng)將蓋保持在好狀態(tài)，以便輕松搬運(yùn)和卸下基板；同時(shí)確保蓋子上的任何殘留化學(xué)物質(zhì)都流入系統(tǒng)排水口
*透明蓋清晰可見內(nèi)部

4、SPIN150i旋涂?jī)x安全聯(lián)鎖：
*Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標(biāo)時(shí)才能打開
*電磁蓋聯(lián)鎖在打開時(shí)停止旋轉(zhuǎn)，而真空聯(lián)鎖（可編程）在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉(zhuǎn)
*防止傷害使用者并避免基材破裂

5、連接：
*三個(gè)可編程繼電器輸出，可用于操作自動(dòng)分配系統(tǒng)，外部閥或其他附件。
*多種夾頭可供選擇，用于直徑大為160 mm的不同尺寸的基板
*制氮過程中的氮?dú)鈹U(kuò)散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護(hù)，IP 52，耐化學(xué)腐蝕
7、彩色觸摸屏顯示：可輕松編程速度，加速度和時(shí)間
8、無限程序存儲(chǔ)：可用于多個(gè)步驟的配方，每個(gè)配方均適用于：
*時(shí)間：0.1至99999秒/步
*速度：0至12,000 rpm
*旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，攪動(dòng)
*加速/減速：1至30,000 rpm / sec（每步可選）
*真空開/關(guān)
*3個(gè)可編程的干觸點(diǎn)：例如用于分配單元，氮?dú)鈹U(kuò)散器等的自動(dòng)控制
9、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
10、存儲(chǔ)：結(jié)構(gòu)化和受密碼保護(hù)的方案存儲(chǔ)，可輕松安全地進(jìn)行管理

SPS旋涂?jī)x技術(shù)參數(shù)

大樣品尺寸: 160mm
大腔體直徑: 202mm
伺服控制馬達(dá)
程序數(shù)字處理控制器:
存儲(chǔ)50個(gè)程序，每個(gè)程序可設(shè)計(jì)99步菜單指令
轉(zhuǎn)速 1-12000 rpm
天然聚丙烯材質(zhì)，對(duì)強(qiáng)腐蝕的化學(xué)試劑可選用聚四氟乙烯材質(zhì)的勻膠機(jī)
配有防污染內(nèi)襯，標(biāo)配兩個(gè)大小吸盤
儀器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm