NX-2600全晶圓片整片基板帶對準可多層次納米壓印加高分辨率光刻系統(tǒng)經(jīng)過了 大量的實時實地驗證，質(zhì)量可靠，性能*穩(wěn)定。具備全部壓印模式： 熱固化、紫外固化和壓印?；?保護的Nanonex氣墊軟壓技術(shù) （ACP），不論模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波 浪和弧形結(jié)構(gòu)，NX-2600均可對其校正補償從而獲得的壓印均 勻性， ACP消除了基板與模版之間側(cè)向偏移，有效地延長了模版使用 壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周期，終得到快速的工 藝循環(huán)。

所有形式的納米壓印
? 熱塑化
? 紫外固化
? 熱壓與紫外壓印同時進行
? 熱固化
氣墊軟壓技術(shù)(ACP)
? Nanonex技術(shù)
? 完美的整片基板納米壓印 均勻性
? 高通量
全晶圓片低于10nm分辨率
亞1微米正面對準精度
背面對準可選項
快速工藝循環(huán)時間（小于60秒）靈活性
? 4″, 6″, or 8″壓印面積可選 ? 各種尺寸及不規(guī)則形狀模
板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過12年、15代產(chǎn)品開發(fā) 經(jīng)驗的自動化壓印操作
Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過大量實 時實地驗證，質(zhì)量可靠，性 能*穩(wěn)定
全自動納米壓印

技術(shù)參數(shù)

熱塑壓印模塊
? ● 溫度范圍0～250oC
? ●加熱速度>300oC/分鐘
? ●制冷速度>150oC/分鐘
? ●壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模塊
? ● 200W窄帶紫外光源
? ●365納米或395納米波長可選
? ●全自動化控制
對準模塊
? ●X, Y, Z, Theta平臺
? ●分場光學和CCD相機

基板裝載
?● 標配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板
?● 6″和8″基板可選
?● 各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基
板均可壓印
? ●*保護ACP技術(shù)可大限度保護基板和模板，特別對于象 磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予大限度保護。
光刻
?● 標配5”模板，標配4”直徑基板
?● 其他尺寸可以提供
?● 500瓦紫外水銀燈光源