FPFRE-MDPspot 單點少子壽命測量儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPFRE-MDPspot
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/shouming.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/11 11:22:15
- 訪問次數(shù) 801
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池 |
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單點少子壽命測量儀系統(tǒng)是經(jīng)濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數(shù)進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作??稍雠潆娮杪蕼y試功能,適合硅,晶圓片和晶錠壽命測量。
單點少子壽命測量儀特點
無接觸和非破壞的電學參數(shù)測試
對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的最高分辨率
對于不同級別晶圓片,提供不同的菜單選項
單點少子壽命測量儀優(yōu)勢
用于不同制備階段,從成體到最終器件,多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。
體積小,成本低,使用方便。擁有一個基本的軟件,結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠,易于高度調(diào)整。

單點少子壽命測量儀技術(shù)參數(shù)
樣品 | 不同工藝處理樣品,如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
樣品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
材質(zhì) | 硅晶圓,晶錠,部分或全部加工晶圓,化合物半導體和其它類型 |
少子壽命檢測范圍 | 20ns到幾十ms |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm,質(zhì)量:16 kg |
電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |