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FPASI-3D/4D-stage 電動(dòng)三維位移臺(tái),XYZ位移tai
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPASI-3D/4D-stage
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/weiyitai1.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/1/1 9:27:54
- 訪問次數(shù) 1459
電動(dòng)三維位移臺(tái)三維位移臺(tái)XYZ位移臺(tái)電動(dòng)位移臺(tái)XYZ位移
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
定位精度 | 10nm |
電控三維位移臺(tái)3D/4D-stage是專業(yè)為激光光學(xué)安裝固定設(shè)計(jì)的電控XYZ位移臺(tái),并且可在三軸位移臺(tái)基礎(chǔ)上加上旋轉(zhuǎn)臺(tái)組成四軸位移臺(tái)功能。
電控三維位移臺(tái)采用三個(gè)電控直線線性位移臺(tái)組成,可以增選一個(gè)電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于θ軸旋轉(zhuǎn)。三維位移臺(tái)組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個(gè)軸可以獨(dú)立選擇。
圖1:電控三維位移臺(tái)實(shí)物圖3D-stage
三個(gè)XYZ三維線性位移臺(tái)采用閉環(huán)直流伺服電機(jī),交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺(tái)平滑和精確的運(yùn)動(dòng)。與其它工作臺(tái)一樣,這些電控三維位移臺(tái)可以極慢的速度均勻移動(dòng),電控三維位移臺(tái)提供各種速度/精度選項(xiàng),也可訂制3D/4D位移臺(tái)系統(tǒng),通常通過一個(gè)適配板把各個(gè)位移臺(tái)組裝在一起。
電控三維位移臺(tái)可以使用各種各樣的控制器,這些控制器和工作臺(tái)可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器,可自動(dòng)糾偏,并可通過RS-232或USB連接與上機(jī)位進(jìn)行通訊。
電控三維位移臺(tái)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | 尺寸 |
編碼器分辨率* | 5.5 nm |
線性編碼器 | 10 nm |
RMS重復(fù)精度(典型) | < 0.7 μm |
采用線性編碼器重復(fù)精度(典型) | 200 nm |
絲桿精度 | 0.25 μm/mm |
采用線性編碼器后的絲杠精度 | ± 3 μm/length scale |
最大速度* | 1.75 mm/sec |
行程范圍 | 25~100mm |
*注:采用1.59 mm螺距的絲杠(16TPL)
電控三維位移臺(tái)絲杠附件
絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 最大速度 |
25.40 mm (極粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
6.35 mm (標(biāo)準(zhǔn)) | 22 nm | 7 mm/sec |
1.59 mm (細(xì)) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
0.635 mm (極細(xì)) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
注:采用旋轉(zhuǎn)編碼器和6.35毫米螺距絲桿
圖2:電動(dòng)四維位移臺(tái)4D-stage俯視圖(由XYZ三維位移臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)構(gòu)成)
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