自動/手動
   本設(shè)備為浸泡式清洗機(jī)，用于擴(kuò)散、外延等設(shè)備的石英管，碳化硅管的清洗 
 ⑴ 整臺設(shè)備采用進(jìn)口磁白色聚丙板（PP）搭配進(jìn)口焊接設(shè)備焊接而成。
 ⑵ 設(shè)備分為兩個清洗槽，內(nèi)槽為酸洗槽，外槽為水洗槽，內(nèi)外槽均裝
   在隔離槽內(nèi)，與底部和周圍隔離。 
 ⑶ 隔離槽底部傾斜式，底處設(shè)有排水管，隔離槽后設(shè)有排氣裝置。
 ⑷清洗槽左右兩端設(shè)有進(jìn)口純水噴槍和氮?dú)鈬姌尅?span>
 (5）內(nèi)設(shè)照明裝置。

特征：
  1.全自動PLC控制，可設(shè)觸摸屏操作面板。
  2.自動，手動互換操作功能，可儲存多套工藝程序。
  3.溫度數(shù)字顯示控制指示器。
  4.故障自動報警及診斷功能。
  5.多臂式位移組合機(jī)械手。
  6.清洗槽四面溢水，高精度循環(huán)過濾裝置，液位保護(hù)控制。
  7.全封閉頂部排風(fēng)系統(tǒng)。
  8.步進(jìn)或伺服電機(jī)，氣動提送，精準(zhǔn)可靠。
  9.超聲波頻率：25KHZ,28KHZ，40KHZ，68KHZ