CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 CPC-10/Plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/28 9:19:39
- 訪問次數(shù) 2671
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半導體領(lǐng)域儀器設(shè)備:等離子清洗機、紫外臭氧清洗機、勻膠機、烤膠機等。 理化實驗室儀器設(shè)備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源 |
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產(chǎn)品特點:
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
◆ 石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
◆ 采用質(zhì)量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設(shè)計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。
◆ 頂置真空艙,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。
◆ 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,符合人體功能學,操作更方便。
◆ 有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ 安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源。