原裝HORIBA 控制器SEC-8000
- 公司名稱 北京盛世歐亞控股有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2022/3/4 14:30:15
- 訪問次數(shù) 384
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,包裝/造紙/印刷,航空航天,電氣,綜合 |
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原裝HORIBA 控制器SEC-8000
概要
質(zhì)量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
概要
質(zhì)量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
適用于高溫:可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
原裝HORIBA 控制器SEC-8000
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
閥門類型 | NO: 非通電時:開 |
標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
流量控制范圍 | 2?100% F.S.(滿量程) |
流量精度 | ±1.0% F.S.(滿量程) 使用溫度:80?100℃ |