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KT-Z1650PVD 高純度金顆粒蒸鍍儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室 及*校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一

公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會為宗旨,積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項,為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師 同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強(qiáng)有力的支持!。

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

公司與國內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實(shí)驗(yàn)室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。










實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 真空設(shè)備 儀器儀表 電子元器件 五金交電實(shí)驗(yàn)室設(shè)備安裝

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池

高純度金顆粒蒸鍍儀

采用電子束蒸鍍金膜時,會有微小的黑色顆粒出現(xiàn)在金膜的表面,這些黑色的顆粒形狀大多不規(guī)則,尺寸集中在100 nm-1μm之間,傳統(tǒng)的蒸鍍理論較難解釋這些黑色顆粒的成因。本文嘗試提出液態(tài)金屬表面熱發(fā)射電子引起液面上雜質(zhì)顆粒"放電"的理論來解釋這一現(xiàn)象。這類電暈放電造成顆粒附近溫度*,瞬間將顆粒蒸發(fā)沉積在襯底。通過改變蒸鍍功率,或保持功率不變,改變電子束斑點(diǎn)形狀、落點(diǎn)位置等一系列實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了理論的合理性。

分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據(jù)兩種坩堝蒸金膜時的物理學(xué)特征不同,研究黑色顆粒產(chǎn)生的機(jī)理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進(jìn)行對比試驗(yàn),成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學(xué)實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜工藝和集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域蒸鍍高質(zhì)量的金膜提供幫助.

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-熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源、坩堝蒸發(fā);

-

腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;

-

泵:前級干泵,分子泵;

- Load Lock

樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);

-

工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;

-

襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;


-       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

-       保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;





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高純度金顆粒蒸鍍KT-Z1650CVD技術(shù)資料

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa







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