AE Pinnacle Plus Pinnacle Plus 直流電源 10KW DC Power
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號 AE Pinnacle Plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/11/24 11:42:49
- 訪問次數(shù) 771
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 3152436-101 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | 機柜直流電源模塊 |
| 型號 | Pinnacle?plus | M/N | 3152436-101 |
| 輸出功率 | 10KW | 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
AE Pinnacle Plus Series 脈沖直流電源采用易于集成的封裝，為反應(yīng)工藝提供脈沖直流解決方案的各種優(yōu)勢，可提高過程效率、降低成本，同時具有出色的靈活性和自由度。與復(fù)雜昂貴的交流電源解決方案相比，AE Pinnacle Plus Series 電源設(shè)備結(jié)合了標(biāo)準(zhǔn)直流技術(shù)和脈沖直流技術(shù)，可提供更高的沉積率、更高的可重復(fù)性能和出色的薄膜質(zhì)量。
AE Pinnacle Plus 直流電源 10KW DC Power Supply 可在反向脈沖期間清除電荷，防止產(chǎn)生電弧，通過頻率和占空比控制調(diào)節(jié)工藝，該系列電源設(shè)備采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計，可在主/從配置中擴展。
AE Pinnacle Plus 直流電源 10KW DC Power Supply 技術(shù)參數(shù)
Power
Single Output ：1.5 kW HALO (high accuracy, low output), 5 kW (single- and dual-output models), 10 kW
Dual Output ： 5/5 kW, independently controlled
Voltage
Up to 800 VDC in a single, wide voltage range (no taps)
Frequency
Adjustable from 0 Hz (DC) to 350 kHz
Repeatability
+/- 0.1% of rated power
Accuracy
+/- 1% of setpoint or +/- 0.2% of full rated power (whichever is greater)
Communication Interfaces
Analog, RS-232/485, Profibus
AC Input
208, 400, and 480 VAC models available
優(yōu)點
1.更高的沉積速率和良品率
2.出色的薄膜均勻性和質(zhì)量
3.減輕電弧導(dǎo)致的襯底傷害
4.優(yōu)秀的工藝靈活性和自由度
5.高重復(fù)性的表現(xiàn)
特點
1.頻率可在5~350KHz范圍內(nèi)調(diào)節(jié)
2.可變占空比可達45%
3.寬電壓范圍 - 單輸出寬阻抗范圍
4.出色的電弧控制
5.可選雙輸出，用于多真空腔生產(chǎn)
采購中心
化工儀器網(wǎng)