MKS 遠程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS （Power Supply Part）是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的高性能遠程等離子體源，是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件，消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污染的來源。ASTRON Series RPS 可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上。ASTRON Series RPS效果良好且更加經(jīng)濟可靠，為CVD室清潔，F(xiàn)PD（平板顯示器）提供所需的反應(yīng)氣體室清潔，太陽能室清潔，光刻膠堆灰，氧化，氮化和化學(xué)消減。

MKS 遠程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號：ASTRON hf-s 15L

AC輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，50/60Hz，50A

終端耳狀柄扭矩：50 in-lbs（5.6 N-m）                                                                                              

散熱方式：水冷散熱

水冷水壓：100 PSIG（Max.）

通信接口：ENet / RS-232 / Cust I/O