DM200-SE 桌面顯影機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 江蘇雷博科學儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號 DM200-SE
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/17 16:36:42
- 訪問次數(shù) 4567
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),能源,電氣,綜合 |
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桌面顯影機優(yōu)勢
1.全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環(huán)境。
2.外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
3.內腔鍍特氟龍,光滑,耐腐蝕,易清洗。
4.內置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。
5.真空壓力可調,壓力值實時顯示。
6.液體流量可調,回吸可調。
桌面顯影機參數(shù)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
1.轉速分辨率:±1 RPM
2.旋涂速度:20-3000rpm(空載)
3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
4.工藝時間設定: 0-3,000sec/step,時間設置精度: 0.1sec
5.該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液,1路純水,1路氮氣)
6.單步工藝及多步工藝可選,內置100組可編輯程序
7.可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。