產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品
●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
●  可選高精度：可優(yōu)于0.5%
●  可測(cè)范圍廣，0.01~100%滿量程

●  滿量程超低壓損為480Pa

●  響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-低壓損型20W系列

精度升級(jí)

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度        ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度           ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性                         ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可測(cè)比    0.01%～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程） 精度升級(jí)部分見左下角

                  ± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外額外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重  復(fù)  性    ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時(shí)間    127 ms（可調(diào)）                  

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號(hào)    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       質(zhì)    302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、

                  玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求                      

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）