AE RFG 5500 AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
- 型號 AE RFG 5500
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/11/22 17:27:40
- 訪問次數(shù) 661
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 3155051-015 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | RFG?5500 |
| MN | 3155051-015 | PN | 27-115617-00 |
| 輸出功率 | 5000W | 頻率 | 13.56MHz |
| 狀態(tài) | Refurbished |
AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN：27-115617-00; MN：3155051-015。
AE 射頻電源 RFG 5500 MN3155051-015是經(jīng)過長期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，在半導(dǎo)體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用，能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計(jì)，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。
RFG 5500參數(shù)規(guī)格
設(shè)備品牌：AE (Advanced Energy)
設(shè)備型號：RFG 5500
AC 電源輸入：~208V，3 phase~，50/60Hz，10.0kW
RF 射頻輸出：13.56MHz，5000W
設(shè)備散熱：水冷散熱
采購中心
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