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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>硅片制備/晶體生長設(shè)備>晶圓切片機>SA-IR20WD 晶圓激光打標(biāo)機

SA-IR20WD 晶圓激光打標(biāo)機

參考價 199999
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 首昂光電(上海)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 SA-IR20WD
  • 產(chǎn)地 上海市奉賢區(qū)廣豐路1110號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/3/3 9:33:50
  • 訪問次數(shù) 332

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十五年深耕激光設(shè)備研發(fā),十五年扎根半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用,造就了首昂光電深厚的技術(shù)沉淀以及*特的行業(yè)視角,我們一直致力于把更好的激光與自動化技術(shù)帶入半導(dǎo)體行業(yè)。

作為國內(nèi)*批將激光應(yīng)用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的*軍者,公司技術(shù)團隊正積極將激光技術(shù)應(yīng)用到更寬廣的半導(dǎo)體領(lǐng)域,助力中國半導(dǎo)體行業(yè)走向*端與自主可控。公司已儲備大量基礎(chǔ)加工技術(shù),正穩(wěn)步推進一系列擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新工藝、新應(yīng)用,在多個關(guān)鍵制程設(shè)備上達到行業(yè)*先水平,*美實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。


晶圓激光切割機,晶圓激光劃片機,晶圓激光刻號機,全自動勻膠機,韓國進口LS DD馬達(力矩電機)

晶圓刻號打碼機


產(chǎn)品介紹

是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備,適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點陣字符,

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動生產(chǎn) 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓

工業(yè)級激光器,穩(wěn)定可靠,免維護

光束質(zhì)量好,標(biāo)識精細,可讀性好

操作界面友好,使用方便 ,

無需外接水冷機



應(yīng)用范圍:


2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。




技術(shù)規(guī)格                             項目                          單位                           數(shù)值


*大加工尺寸                   晶圓尺寸                       inch                           6英寸

激光器功率                    激光器出口處                     w                             20瓦

激光器波長                  紅外光纖激光器                   nm                        1064納米

                                        定位精度                        mm                        0.05毫米

                                        重復(fù)精度                        mm                         0.02毫米

振鏡                             *大掃描速度                      mm/s                    7000毫米/秒

                                        振鏡類型                      數(shù)字/模擬               高速數(shù)字式振鏡

                                         *大負載                         Kg                            1.5千克

協(xié)作機械手                        *大臂長                       mm                             400毫米

                                         重復(fù)精度                        mm                           正負0.03毫米

                                         Z向行程                         mm                             210微米

                                           電源                          AC                       兩相220~240V 50HZ

                                       *大耗電量                       Kw                           1.5千瓦

                                      單獨接地電阻                       Ω                             小于4歐

                                      共用接地電阻                       Ω                             小于1歐

                                     壓縮空氣供給壓力                    MPa                   0.5~0.8兆帕

                                       廠務(wù)真空供給                      Kpa                         -0.6千帕

其他規(guī)格                          排風(fēng)口口徑                        mm                           50毫米




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