傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。     

      以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點(diǎn)：

      1、高靈敏度，可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測量
      2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
      3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源。
     鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級(jí)，量程可達(dá)2m，如果加擴(kuò)束鏡，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長，從而無需標(biāo)定。產(chǎn)品由激光測頭、信號(hào)處理電箱和軟件組成。

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