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IRE-200 膜厚測(cè)試儀

參考價(jià)900000-1500000/臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢頤光科技有限公司
  • 品牌頤光科技
  • 型號(hào)
  • 所在地武漢市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2025/4/27 16:11:29
  • 訪問次數(shù) 2663
產(chǎn)品標(biāo)簽

膜厚測(cè)量膜厚儀反射膜厚儀

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       武漢頤光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd)是國(guó)內(nèi)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測(cè)量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的企業(yè)。公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)的專家聯(lián)合創(chuàng)辦,與華中科技大學(xué)緊密合作,現(xiàn)有員工80%以上擁有碩士或博士學(xué)位,是橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域非常有優(yōu)勢(shì)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。

       頤光科技注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶提供光學(xué)散射測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲(chǔ)、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。

      頤光科技充分利用武漢地區(qū)的交通便利和人才優(yōu)勢(shì),立志成為中國(guó)的光學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái)和產(chǎn)業(yè)化基地,立志成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴。

光譜橢偏儀,反射膜厚儀

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,航空航天,電氣

 

一、概述

IRE-200光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

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■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

■ 自定義mapping功能;

■ 高檢測(cè)速率:Si標(biāo)準(zhǔn)外延片測(cè)量25點(diǎn)≤3min;

■ 高檢測(cè)精度:≤0.01um 。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1)設(shè)備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1。

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2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準(zhǔn)快速地獲取測(cè)量結(jié)果。

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3) 搭配自主研發(fā)的mapping運(yùn)動(dòng)臺(tái),定位精準(zhǔn)、測(cè)量速度快。

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三、產(chǎn)品應(yīng)用

 IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測(cè)。

SiC EPI量測(cè)案例

      

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技術(shù)參數(shù)

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