RGA 系列殘余氣體分析儀
- 公司名稱 深圳市奧德賽創(chuàng)精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/14 7:54:37
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,航空航天,電氣 |
|---|
RGA 系列殘余氣體分析儀
SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細(xì)氣體分析，價(jià)格僅為競(jìng)爭(zhēng)型號(hào)的一半。每個(gè) RGA 系統(tǒng)都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。
堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)
探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測(cè)器組成。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)具有少量零件，可*大限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。探頭組件堅(jiān)固耐用，可安裝在標(biāo)準(zhǔn)2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋，但離子發(fā)生器除外，它在您的真空系統(tǒng)中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標(biāo)準(zhǔn)離子計(jì)的間隙。探頭采用自對(duì)準(zhǔn)部件設(shè)計(jì)，因此可以在清潔后輕松重新組裝。
緊湊型電子控制單元
密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設(shè)備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內(nèi)置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進(jìn)行高溫烘烤。
*特的燈絲設(shè)計(jì)
長(zhǎng)壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長(zhǎng)得多，從而*大限度地延長(zhǎng)了燈絲更換之間的時(shí)間。與其他設(shè)計(jì)不同，SRS 燈絲可以在幾分鐘內(nèi)由用戶更換。
電子倍增器
法拉第杯探測(cè)器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置，可以測(cè)量10 -5到 5 × 10 -11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率，提供了一個(gè)可選的電子倍增器，可檢測(cè)低至5 × 10 -14 Torr的分壓。這種**的宏多通道連續(xù)打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長(zhǎng)的壽命和穩(wěn)定性，并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的開(kāi)創(chuàng)！
加熱套
O100HJRW 加熱器護(hù)套配有 Watlow EHG SL10 過(guò)程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預(yù)編程溫度。加熱器護(hù)套采用 PTFE (Teflon) 結(jié)構(gòu)制成，由于其低釋氣和無(wú)顆粒操作，適用于潔凈室應(yīng)用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國(guó)家/地區(qū)的電源線。
有用的功能
所有 RGA 都具有內(nèi)置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，*底清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對(duì)背景噪聲的影響。
固件驅(qū)動(dòng)的燈絲保護(hù)功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過(guò)壓。如果檢測(cè)到過(guò)壓，燈絲會(huì)立即關(guān)閉，以保持其使用壽命。
*特的溫度補(bǔ)償對(duì)數(shù)靜電計(jì)在單次掃描中檢測(cè)10 -7至 10 -15 安培的離子電流，精度優(yōu)于 2%。這個(gè)巨大的動(dòng)態(tài)范圍意味著您可以同時(shí)測(cè)量小氣體濃度和大氣體濃度。
*全可編程性
通過(guò)RS-232接口與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測(cè)和探頭參數(shù)都通過(guò)上等命令集進(jìn)行控制和監(jiān)控。這允許輕松集成到現(xiàn)有程序中。
RGA 視窗軟件
RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是*全交互式的，使用戶可以*全控制圖形顯示?？刹鸱制聊贿M(jìn)行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計(jì)劃在給定的時(shí)間間隔內(nèi)采集數(shù)據(jù)，以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺(jué)警報(bào)以及全*的在線幫助。
該軟件還允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析，可以將數(shù)據(jù)文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小D形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以直接導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù)，使臨時(shí)用戶無(wú)法更改重要設(shè)置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅(qū)動(dòng)程序。
可選的獨(dú)立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒(méi)有主機(jī)的情況下控制 RGA。
多頭操作
當(dāng)需要多個(gè) RGA 時(shí)，該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。
性能和價(jià)值
SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測(cè)和真空處理的應(yīng)用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項(xiàng)，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊。
RGA 系列規(guī)格 | |
操作 | |
| 質(zhì)量范圍 | |
| RGA100 | 1 到 100 amu |
| RGA200 | 1 到 200 amu |
| RGA300 | 1 至 300 amu |
| 質(zhì)量過(guò)濾器類型 | 四極桿 |
| 探測(cè)器類型 | 法拉第杯 - 標(biāo)準(zhǔn)。 電子倍增器 - 選擇。 |
| 解析度 | 優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3）。在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。 |
| 靈敏度 (A/Torr) | 2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。 用戶可在整個(gè)高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用 N 2 @ 28 amu 測(cè)量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。 |
| 分鐘。可檢測(cè)分 壓 | 5 × 10 -11 托 (FC)。 5 × 10 -14 托 (EM)。 用 N 2 @ 28 amu 測(cè)量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。 |
| 運(yùn)營(yíng)壓力 | 10 -4 Torr 到 UHV (FC) 10 -6 Torr 到 UHV (EM) |
| *大限度。工作溫度 | 70℃ |
| 烘烤溫度 | 300 °C（不帶 ECU） |
離子發(fā)生器 | |
| 設(shè)計(jì) | 開(kāi)放式離子源，圓柱對(duì)稱，電子碰撞電離。 |
| 材料 | SS304 結(jié)構(gòu) |
| 燈絲 | 具有固件保護(hù)的釷銥（雙）。內(nèi)置 |
| 電子能量 | 25 至 105 V，可編程 |
| 離子能量 | 8 或 12 V，可編程 |
| 聚焦電壓 | 0 至 150 V，可編程 |
| 電子發(fā)射電流 | 0 至 3.5 mA，可編程 |
一般的 | |
| 探頭尺寸 | 8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部 |
| 探頭插入 | 2.0" |
| 探頭安裝法蘭 | 2.75" CF |
| *小管內(nèi)徑 | 1.375" |
| ECU尺寸 | 9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL) 可輕松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。 |
| LED指示燈 | 電源開(kāi)/關(guān)、燈絲開(kāi)/關(guān)、脫氣開(kāi)/關(guān)、電子倍增器開(kāi)/關(guān)、 |
| 熱身時(shí)間 | 30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu |
| 電腦接口 | RS-232C，28,800 波特，帶上等命令集 |
| 軟件 | 基于 Windows 的應(yīng)用程序 |
| 電力需求 | 24 VDC @ 2.5 安培。 可選的內(nèi)置 VAC 適配器。 |
| 重量 | 6 磅 RGA 系列殘余氣體分析儀 。 |
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