Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

省空間、省配線、省配管、省工時(shí)、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時(shí)）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式

省空間、省配線、省配管、省工時(shí)、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時(shí)）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式

省空間、省配線、省配管、省工時(shí)、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性（空載時(shí)）±0.05℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式