RTP-Table-6 桌面式半導體快速退火爐
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號 RTP-Table-6
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/2/4 13:47:25
- 訪問次數(shù) 1108
產(chǎn)品標簽
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桌面式半導體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設(shè)備,標配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷;
?采用快速PID溫控,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;
?采用平行氣路進氣方式,氣體進出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過程中冷點產(chǎn)生,保證良好的溫度均勻性;
?大氣與真空處理方式均可選擇,實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理。
晟鼎與華南理工大學聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實驗室,所有產(chǎn)品系列皆通過CE認證。