精密氣浮直線臺，精密氣浮轉(zhuǎn)臺，多軸精密氣浮臺，精密直驅(qū)直線臺，多軸精密直驅(qū)直線臺，精密垂直升降臺，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,綜合 |
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結(jié)構(gòu)特點
XY軸為非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，精度高和外形尺寸小等特點，氣浮導(dǎo)軌間沒有機械接觸，免維護運行。Z軸為平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，提升直線度性能，可選雙閉環(huán)反饋的方式，獲得高重復(fù)定位精度和定位精度。
精度性能
XY軸氣浮運動臺的定位精度±50nm，雙向重復(fù)定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.5μm。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可定制帶屏蔽高柔線纜，適合環(huán)境噪聲大的場合。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，直線度可達(dá)±50nm。
規(guī)格指標(biāo)
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，速度和加速度取決于負(fù)載大小。
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