ELIONIX-電子束光刻系統-ELS-HAYATE

產品型號：ELS-HAYATE

產品介紹：ELS-HAYATE能夠在數小時內制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細圖案分辨率的大型制造寫入場。

性能特點：

可實現字段大小5mm的統一繪制

實現了業(yè)界的5毫米偏轉。因為可以統一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應用程序。此外，由于樣品表面內的載物臺移動次數也減少，高吞吐量的微細加工也能起到作用。

采用大電流電子光學系統

配備高電流電子光學系統，可以實現超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產生的微米到毫米量級的圖案，現在可以高質量曝光。

400MHz生產用高速掃描時鐘

當在高電流下進行光刻時，須將光斑間距設置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。

參數：

產地：日本

加速電壓：50 kV

束流：1 nA～800 nA

最小光束直徑：D 10 nm

標準場尺寸：5000μm

最小/最大字段大小：

最小1000μm

最大5000μm

掃描時鐘：最大400MHz

最小發(fā)射間距：最小1.0nm

最大樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓

最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米

加載機制：

單臺自動裝載機

多功能自動裝載機

機器人裝載機