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4.125寸PEEK制程用晶舟

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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公司專注于高性能材料應(yīng)用的創(chuàng)新解決方案。聚焦超高純PFA、PTFE、PEEK等高性能材料的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程、半導(dǎo)體濕法設(shè)備、電子化學(xué)品制備等領(lǐng)域。

氟塑料產(chǎn)品,PEEK卡塞

產(chǎn)品規(guī)格:

4.125寸PEEK制程用晶舟

PEEK Cassette系列介紹:

適用于制程間晶圓的傳送。產(chǎn)品尺寸符合適配業(yè)內(nèi)主流規(guī)范,也可依照客戶要求進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品材料滿足:

避免晶圓受到靜電傷害

超低氣體釋放

超低雜質(zhì)含量

耐磨且保護(hù)晶圓

耐高溫制程

產(chǎn)品主要指標(biāo)

圓承載量:12

D1距:21.26mm(0.84")

槽距:9.5mm(0.37")

槽最窄距:3.20mm(0.12")


主營產(chǎn)品:

1、超純PFA管閥部件,可適用于化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、混合分配系統(tǒng)、制程設(shè)備、化學(xué)品處理回收:管道、接頭、閥門、流量計(jì)、過濾器等。

2、超純PFA填料,在電子級氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學(xué)品產(chǎn)線建立起關(guān)鍵作用。

3、PEEK晶圓載具,4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及專用光罩盒、通用光罩盒。






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