產(chǎn)品規(guī)格：

PEEK Cassette系列介紹：

適用于制程間晶圓的傳送。產(chǎn)品尺寸符合適配業(yè)內(nèi)主流規(guī)范，也可依照客戶要求進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品材料滿足：

避免晶圓受到靜電傷害

超低氣體釋放

超低雜質(zhì)含量

耐磨且保護(hù)晶圓

耐高溫制程

產(chǎn)品主要指標(biāo)

晶圓承載量：12

D1距：21.26mm(0.84")

槽距：9.5mm(0.37")

槽最窄距：3.20mm(0.12")

主營(yíng)產(chǎn)品：

1、超純PFA管閥部件，可適用于化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、混合分配系統(tǒng)、制程設(shè)備、化學(xué)品處理回收：管道、接頭、閥門、流量計(jì)、過濾器等。

2、超純PFA填料，在電子級(jí)氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學(xué)品產(chǎn)線建立起關(guān)鍵作用。

3、PEEK晶圓載具，4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及專用光罩盒、通用光罩盒。