日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特點(diǎn)介紹

●節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)

●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對樣品無熱損傷。

●可濺射/蝕刻

●可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻

● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文） 

 例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器 

日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 規(guī)格參數(shù)

模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB 

類型 基本的 帶膜厚監(jiān)測儀 具有蝕刻模式和

膜厚監(jiān)視器 

電源 AC110V 50Hz(60Hz) 

配件 Au靶材厚度76μm/陰極57mmφ 

作品 真空控制基座單元 

碳涂層機(jī)模塊（帶碳纖維頭） 

濺射鍍膜機(jī)模塊 

― 晶體諧振器膜厚監(jiān)測器

*不能與碳鍍膜機(jī)一起使用。 

● 節(jié)省空間/臺式濺射鍍膜機(jī)

● 快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對樣品無熱損傷。

● 可濺射/蝕刻

● 可以通過移動樣品臺來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺冷卻

● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見下文） 

 例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器