山田光學yamada半導體芯片加工光源裝置照明 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 特點介紹

高亮度鹵素光源裝置在半導體芯片及液晶基板加工

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導體晶片及液晶基板加工中最費人工的成形製品表面的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。

用于檢測各種缺陷的宏觀觀察用照明裝置檢查燈。

山田光學yamada半導體芯片加工光源裝置照明 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 規(guī)格參數(shù)

1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素燈，色溫高，照度不均小，光線極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡，熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級切換機構，一鍵實現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍：30mmφ

YP-250I 照度范圍：60mmφ

超精密平面檢測的理想選擇！通過驚人的照明，可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測

最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板

另外，由于采用鹵素燈作為光源，色溫高，

光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機“YP-250I”也可用于 8 英寸。

光源采用鹵素燈

　　■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

　　■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

　　請用于超精密平面檢測！