WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備北方華創(chuàng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

1. 產(chǎn)品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

2. 設(shè)備用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩(wěn)定性，超高的補(bǔ)水精度，精準(zhǔn)的蝕刻速率控制，優(yōu)秀的干燥效果。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12 英寸，適用材料光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控?fù)跗厥?/span>。適用域新興應(yīng)用、集成電路。