INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺
- 公司名稱 天津瑞利光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/9 12:00:35
- 訪問次數(shù) 299
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光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業(yè)自動化控制設備、電子設備、智能設備、通訊設備、儀器儀表、實驗室設備、五金交電、電線電纜、環(huán)保設備、汽車配件、工藝品、辦公用品的銷售；自營和代理貨物及技術的進出口業(yè)務；光電設備安裝、調(diào)試及檢修
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器材質(zhì) | 全木實驗臺 | 儀器結構 | 雙面（中央）實驗臺 |
| 應用領域 | 電子/電池,電氣 |
天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產(chǎn)品型號：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產(chǎn)品介紹
集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉(zhuǎn)臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅(qū)動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
性能特點
開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺設計用于半導體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動化定位應用。 位于單元側(cè)面的 XY 驅(qū)動機構和大型中心通孔轉(zhuǎn)臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。
技術參數(shù)
XY臺：XY-OF-UL-200x200
旋轉(zhuǎn)臺：ACR-160UT
電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）
直線伺服電機（選件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔徑：直徑160 mm
分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋轉(zhuǎn)）：1.4 arc-sec
重復性（線性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重復性（旋轉(zhuǎn)）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
負載重量： 30 kg
載物臺重量：16 kg
（注1）帶線性編碼器（可選）
（注2）直線伺服電機（可選）
（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅(qū)動
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