LGR推出的/氟化氫分析儀可以同時(shí)測(cè)量大氣環(huán)境或者工業(yè)流程中的HCl、HF和水汽濃度，高精度、高靈敏度。分析儀可以提供秒級(jí)的測(cè)量速度，同時(shí)精度達(dá)到ppb級(jí)。測(cè)試結(jié)果表明，分析儀不受其他氣體種類和氣壓的干擾。

分析儀采用LGR設(shè)計(jì)的離軸積分腔輸出光譜（OA-ICOS）技術(shù)，它消除了CRDS技術(shù)在測(cè)量期間需要連續(xù)進(jìn)行光腔與激光波長(zhǎng)匹配以改善信號(hào)強(qiáng)度微弱的缺點(diǎn)，使得分析儀不再需要進(jìn)行復(fù)雜的激光準(zhǔn)直調(diào)整、溫度控制和波長(zhǎng)監(jiān)控。可以實(shí)時(shí)顯示高分辨率激光吸收光譜。采用內(nèi)置計(jì)算機(jī)（Linux OS）以提供數(shù)據(jù)的連續(xù)存儲(chǔ)和測(cè)量。具有遠(yuǎn)程控制功能，用戶可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)在任意地點(diǎn)對(duì)分析儀進(jìn)行操作，也可以通過(guò)遠(yuǎn)程登錄實(shí)時(shí)共享數(shù)據(jù)，并進(jìn)行儀器診斷。

特點(diǎn)：

      1.      的測(cè)量響應(yīng)

      2.      濃度測(cè)量范圍更寬

      3.      低能耗，更適合野外現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用

      4.      采用LGR控溫技術(shù)，實(shí)現(xiàn)最小漂移與超高穩(wěn)定性

      5.      HCl與HF同時(shí)測(cè)量

性能指標(biāo)：

      再現(xiàn)性/精度 Repeatability/Precision（1σ）：

      HF: <0.1 ppb（1 sec）、<0.07 ppb（10 sec）、<0.05 ppb（100 sec）

      HCl: <0.4 ppb（1 sec）、<0.25 ppb（10 sec）、<0.1 ppb（100 sec）

       響應(yīng)時(shí)間 Response Time(Flow time through meas. Cell):

        <2 s (with external N920 vacuum pump)

測(cè)量量程 ：

        HF: 0.3-20000 ppb

        HCl: 0.3 -2000 ppb

運(yùn)行范圍:

       HF: 0-10 ppm

       HCl: 0-10 ppm

       H2O: 10-20000 ppm (無(wú)冷凝)