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SENTECH SENDURO®MEMS 全自動(dòng)薄膜質(zhì)量控制

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

質(zhì)量控制測(cè)量

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置靈活性,以滿足生產(chǎn)控制和質(zhì)量控制的要求。該工具可以配置反射法和橢圓偏振法中的μ點(diǎn)測(cè)量,以及提供準(zhǔn)確測(cè)量位置的模式識(shí)別。所有測(cè)量都可以與邊緣抓取技術(shù)相結(jié)合。 

2. 傳感器、MEMS 和射頻/功率器件生產(chǎn)中的薄膜質(zhì)量控制

SENTECH SENDURO®MEMS 是一款全自動(dòng)測(cè)量工具,用于傳感器、射頻/功率器件、SAW 濾波器和 MEMS 生產(chǎn)中的質(zhì)量控制。該工具使用光譜反射法和橢圓偏振法對(duì)薄膜堆疊法進(jìn)行可靠和精確的測(cè)量。晶圓從標(biāo)準(zhǔn)盒中裝入,配方進(jìn)行質(zhì)量控制測(cè)量。該工具設(shè)計(jì)用于測(cè)量薄膜厚度,通過測(cè)量薄膜的折射率來控制沉積過程,并為濾光片準(zhǔn)備表面修整。

3. 通過邊緣抓握技術(shù)實(shí)現(xiàn)背面保護(hù)

在必須進(jìn)行背面保護(hù)的過程中,SENTECH SENDURO®MEMS 可以在不接觸背面的情況下測(cè)量雙面圖案晶圓。邊緣夾持晶圓處理可用于 100 mm、150 mm 和 200 mm 晶圓。晶圓盒到晶圓盒的自動(dòng)處理使用機(jī)器人、預(yù)對(duì)準(zhǔn)器和 25 槽晶圓盒。單點(diǎn)和多點(diǎn)測(cè)量由高達(dá) 200 mm x-y 的映射支持 

4. 綜合薄膜分析軟件 SpectraRay/4

SENDURO®MEMS由SENTECH SpectraRay/4軟件操作。它在測(cè)量各種薄膜和層堆疊方面提供了高度的靈活性,這在傳感器和MEMS生產(chǎn)中很常見。SECS/GEM 軟件接口選項(xiàng)支持制造執(zhí)行系統(tǒng) (MES) 和 QC 設(shè)備 (SENDURO®MEMS) 之間的通信。

 



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