eScan 315 晶圓檢測(cè)儀
- 公司名稱(chēng) 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 Hermes Microvision（HMI）
- 型號(hào) eScan 315
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/4/29 10:04:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 742
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
|---|
HMI eScan 315晶圓檢測(cè)儀是一款由HMI公司制造的自動(dòng)化晶圓和掩模檢查設(shè)備，旨在為圖案化晶圓和光罩檢查過(guò)程提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。該系統(tǒng)采用專(zhuān)有的PAT-FINDER圖像處理器，并利用三通道彩色CCD相機(jī)準(zhǔn)確捕捉高達(dá)143個(gè)晶圓或掩模的圖像。
HMI eScan 315晶圓檢測(cè)儀具有高級(jí)運(yùn)動(dòng)控制功能，包括多軸掃描和插值運(yùn)動(dòng)控制，能夠進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、掃描、照明和分析，以進(jìn)行全面的缺陷審查，最大分辨率高達(dá)26百萬(wàn)像素。此外，它還具備強(qiáng)大的技術(shù)、先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制功能和模塊化工程設(shè)計(jì)，是任何行業(yè)或研究機(jī)構(gòu)的理想選擇。
需要注意的是，HMI eScan 315與HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp是不同的型號(hào)。后者是一款功能更強(qiáng)大、高精度的掩模和晶圓檢測(cè)設(shè)備，擁有先進(jìn)的成像技術(shù)和軟件，提供自動(dòng)缺陷檢測(cè)、測(cè)量、分割和分類(lèi)能力，一直到納米級(jí)。eScan 315xp還結(jié)合了電子束光學(xué)、低溫掃描系統(tǒng)和高度的圖像解析算法，為用戶提供了無(wú)與倫bi的精度和準(zhǔn)確性。
HMI eScan 315是一款功能強(qiáng)大且經(jīng)濟(jì)高效的晶圓和掩模檢查設(shè)備，適用于各種行業(yè)和研究機(jī)構(gòu)的需求。
產(chǎn)品概述
自動(dòng)化晶圓和掩模檢查設(shè)備
設(shè)計(jì)用于圖案化晶圓和光柵檢查過(guò)程
技術(shù)特點(diǎn)
高精度成像技術(shù)
先進(jìn)的圖像處理器PAT-FINDER
三通道色彩CCD相機(jī)
最大分辨率高達(dá)26百萬(wàn)像素
功能能力
自動(dòng)缺陷檢測(cè)、測(cè)量、分割和分類(lèi)
納米級(jí)檢測(cè)能力
全面缺陷審查
檢測(cè)劃痕和沉積物在晶圓表面
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
高級(jí)運(yùn)動(dòng)控制功能，包括多軸掃描和插值運(yùn)動(dòng)控制
超快的樣本掃描時(shí)間
自動(dòng)化軟件工具用于缺陷檢測(cè)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)上的納米級(jí)誤差檢測(cè)
納米級(jí)表面缺陷檢測(cè)無(wú)與倫bi的精度和準(zhǔn)確性
市場(chǎng)表現(xiàn)
多個(gè)銷(xiāo)售渠道可供選擇，包括CAE、Moov等
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