BST-1200C-CVD 立式流化床-多壁碳納米管制備設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號 BST-1200C-CVD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/8/29 16:51:38
- 訪問次數(shù) 398
產(chǎn)品標簽
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高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 升華儀,流化床,半導體前驅(qū)體制備設(shè)備,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合 |
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1、氣體先經(jīng)過氣體預熱爐預熱后進入流化床反應腔體,可以降低大量冷氣流進入腔體對工藝的影響。
2、反應器出口配有攪動裝置, 防止碳管在反應器出口堵塞。
3、進液口附近配有測溫熱電偶, 可以控制進液口的溫度。
4、進液口活動式, 可以根據(jù)工藝需要的溫度調(diào)整上下位置。
5、收集器排氣口安裝可轉(zhuǎn)動式濾網(wǎng),方式濾網(wǎng)堵塞。
爐管材質(zhì) | 石英管 |
爐管尺寸 | Φ300mm(外徑) |
加熱元件 | 電阻絲 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統(tǒng) | 30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱區(qū)長度 | 300+300+300+300+300mm(5溫區(qū)) |
氣路系統(tǒng) | 內(nèi)部裝有5路高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量,按要求配比 |
準確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5~1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec |
預抽真空泵抽速 | 60m3/H |
氣體預熱爐加熱區(qū)長度 | 300+300+300mm |
預熱爐加熱元件 | 電阻絲 |
預熱爐盤管材質(zhì) | 310S |