Hanks Hydra Static多坩堝電子槍真空組件

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍通過高效利用空間，實現(xiàn)了四種或更多不同材料的復(fù)雜共沉積工藝和共蒸發(fā)。Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍模塊化磁性設(shè)計能夠更加高效地生成電子束。Hyper-Unimelt 200 Hz 掃描技術(shù)可以消除隧道效應(yīng)和源材料噴發(fā)問題。插入式發(fā)射器組件和掃描線圈組件使得蒸發(fā)源更易于維護(hù)。

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍簡單的燈絲校準(zhǔn)、更高效的電子準(zhǔn)直、最小化燈絲變形以及消除電子試驗的優(yōu)點，非常適合用于共蒸發(fā)！

滿足：4,835,789；4,891,291；4,947,404

Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍主要特征：

· 可同時操作六（6）種不同材料（可根據(jù)要求提供其他坩堝設(shè)計）
· 全金屬密封，兼容超高真空（UHV），基底壓力測量值：2×10^-11 Torr
· Hydra™ 設(shè)計消除了相鄰源之間的相互作用
· 磁性設(shè)計允許源頭靠近，實現(xiàn)均勻涂層和材料相互作用
· 每個坩堝源都獨立水冷，以防止蒸汽積聚
· 每個源坩堝有獨立的掃描線圈，確保每個源的獨立操作完整性，消除相鄰源的串?dāng)_干擾
· 可拆卸坩堝煙囪設(shè)計，方便清理沉積物
· 水冷發(fā)射器基板和坩堝
· 提供10kW或15kW選項
· 坩堝容量：10cc、15cc、40cc（可根據(jù)要求提供定制尺寸）
· 270°光束偏轉(zhuǎn)，燈絲外殼隔何顆粒暴露
· 動態(tài)坩堝設(shè)計可選
· 易于拆卸的發(fā)射器組件設(shè)計
· Thermionics的Hyper-Unimelt掃頻設(shè)計（最佳低速或高速控制）
· 提供水平和垂直源法蘭安裝設(shè)計
· 消除光束彎曲
· UHV級掃描線圈隨源頭提供（200 Hz）
· 消除極片
· 簡單的燈絲校準(zhǔn)
· 更高效的電子準(zhǔn)直
· 最小燈絲變形
· 消除電子尾巴
· 封閉的發(fā)射器組件可防止顆粒積聚
· 每個源獨立水冷
· 設(shè)計消除串?dāng)_干擾

Hanks Hydra Static多坩堝電子槍真空組件