Beam Imaging離子槍系統(tǒng)真空組件

Beam Imaging Solutions （BIS） 提供兩種離子槍系統(tǒng)類型。每個噴槍都包括一個離子源組件、散熱器、加速和聚焦系統(tǒng)、垂直偏轉(zhuǎn)板、一個 6 英寸長的速度過濾器和一個速度過濾器保護環(huán)控制單元。組件組裝在裝有法蘭的真空外殼中，用于安裝到客戶的設備上。保護環(huán)控制單元可以安裝到標準的 19 英寸機架面板中。如果需要，可以訂購定制法蘭和附加端口。當噴槍需要光束減速器時，包括一個適配器法蘭（型號 G-1-D 和 G-2-D 離子槍）。Beam Imaging 還為上述離子槍系統(tǒng)提供控制單元（E 系列）?？刂茊卧ú僮麟x子噴槍所需的所有電源以及用于離子源和真空計控制的冷卻裝置。所有離子束組件也可單獨或成套提供（離子源、散熱器、速度過濾器、提取和聚焦透鏡系統(tǒng)）。這些完整的套件稱為離子束套件。

離子槍 G-1 和 G-1-D 型（不可烘烤）

G-1 型可在 500 eV 至 10 keV（可選 20keV）的能量范圍內(nèi)運行。如果需要小于 500 eV 的離子束能量，我們建議使用 G-1-D 型，其中包括 400 型或 450 型減速器，可以產(chǎn)生能量低至 1 eV 的質(zhì)量選擇離子束。G-1 系列型號的真空外殼由拋光不銹鋼管制成，直徑為 6 英寸，長約 19 英寸。長度包括 500 型絕緣子安裝法蘭。G-1-D 的總長度為 23 1/8 英寸，與 400 型或 450 型減速器一起使用。兩個離子槍外殼都配有一個 6“ ID 粗加工端口。G-1 和 G-1-D 型的標準出口法蘭是 8 英寸外徑和 6 英寸內(nèi)徑的同平法蘭。然而，G-1-D 型在與減速器一起使用時有一個 2 3/4 英寸的出口法蘭（僅限 400 型）。G-1 和 G-1-D 型都適合真空至 10-7Torr 的 Var，而不是為 bakeout 設計的。

Beam Imaging離子槍系統(tǒng)真空組件

離子槍 G-2 和 G-2-D 型（可烘烤）

G-2 和 G-2-D 離子槍均設計為在 500 eV 至 10 keV（可選 20keV）能量范圍內(nèi)運行。然而，G-2-D 離子槍有可選的 400 型或 450 型減速器，可在低至 1 eV 的電壓下使用。G-1 和 G-2 系列離子槍之間有兩個區(qū)別。G-2 離子槍設計為可烘烤至 200oC，用于超高真空 （UHV） 系統(tǒng)。速度過濾器上的磁線圈封裝在不銹鋼護套中，并采用液體冷卻，因此允許更高的電流和磁場強度。BIS 建議使用 CU-1 冷卻裝置進行磁體和離子源冷卻。G-2 和 G-2-D 的尺寸分別與 G-1 和 G-1-D 相同。G-2 和 G-2-D 的設計都適合真空到 10-9托。

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