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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>原子層沉積設備>AT 200M 臺式原子層沉積系統(tǒng)-可放入手套箱

AT 200M 臺式原子層沉積系統(tǒng)-可放入手套箱

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京盈思拓科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 AT 200M
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/5 17:51:38
  • 訪問次數(shù) 1307

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北京盈思拓科技(Instonetech) 有限公司是材料研究領域的技術服務提供商。 Instone是Institute、Instrument、Instant的縮寫,代表公司秉承專業(yè)、高效的經(jīng)營理念,為科研用戶提供技術服務。

公司深耕國內(nèi)科研市場近十年,以中科院等專業(yè)院所背景的技術力量為依托, 為國內(nèi)各大科研機構及材料研究客戶提供科研儀器設備和專業(yè)技術服務。公司以代理國內(nèi)外材料化工方向的儀器設備為核心業(yè)務,產(chǎn)品覆蓋材料制備、表征、光、熱、 電、磁等研究領域。

公司在提供專業(yè)儀器設備的基礎上,根據(jù)客戶的不同需求,提供“從0到1”的咨詢和建設服務(實驗室設備及家具布局、通風、潔凈及氣路等),為新能源電池、電子陶 瓷、半導體材料、高分子材料等用戶提供一站式解決方案。

此外,公司旗下?lián)碛杏蜒芯芗庸て脚_,并擁有專業(yè)的技術工程師為實驗設備提供 系統(tǒng)集成服務,提升科研實驗的自動化水平,為用戶提供增值服務。



技術服務、一般項目:技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流

價格區(qū)間 面議 應用領域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,綜合

 

  • 原子層沉積系統(tǒng)ALD

  • 市場上占地面積最小的 ALD(原子層沉積)工具。AT200M 體積小巧,可以放入手套箱中,因此是濕氣或空氣敏感沉積的解決方案。

  • 占地面積?。▇ 15 in3 或 38.1 cm3)

  • 半導體級元件

  • 金屬密封管路

  • 通風前驅體外殼

  • 兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,帶有超快速 MFC,用于集成惰性氣體吹掃

  • 前驅體(最高 150°C),歧管,腔室加熱以確保無冷凝。

  • 強大的 PLC 驅動用戶界面

  • 不銹鋼腔室可加熱至 300°C。

 

規(guī)格:

  • 腔室溫度從 RT 到 300°C ± 1 °C

  • 前驅體溫度從 RT 到 150°C ± 2°C(帶加熱夾套)

  • 市場上占地面積最?。?.6 平方英尺),臺式安裝,兼容潔凈室,也適合手套箱。

  • 系統(tǒng)維護簡單,公用設施和前驅體使用量低。

  • 腔室容積小

  • 非??焖俚难h(huán)能力。

  • 完整的硬件和軟件互鎖,即使在多用戶環(huán)境中也能安全操作

 

 



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